JJF(晉) 116-2025 機械接觸式電子測厚儀校準規范

　　山西省地方計量技術規范

　　JJF(晉)116-2025

　　機械接觸式電子測厚儀校準規范

　　Calibration Specification for Mechanical Contact Electronic Thickness

　　Gauge

　　2025-06-20 發布2025-09-01 實施

　　山西省市場監督管理局發布

　　JJF(晉)116-2025

　　歸口單位：山西省市場監督管理局

　　主要起草單位：晉中市綜合檢驗檢測中心

　　參加起草單位：山西省檢驗檢測中心(山西省標準計量技術研究院)

　　本規范委托晉中市綜合檢驗檢測中心負責解釋

　　機械接觸式電子測厚儀

　　校準規范

　　Calibration Specification for Mechanical Contact

　　Electronic Thickness Gauge

　　JJF(晉)116-2025

　　JJF(晉)116-2025

　　本規范主要起草人:

　　張麗紅(晉中市綜合檢驗檢測中心)

　　陳金虎(晉中市綜合檢驗檢測中心)

　　張益愷(山西省檢驗檢測中心(山西省標準計量技術研究院))

　　參加起草人:

　　張艷麗(晉中市綜合檢驗檢測中心)

　　閆敏(晉中市綜合檢驗檢測中心)

　　張宏兵(晉中市綜合檢驗檢測中心)

　　智勇斌(晉中市綜合檢驗檢測中心)

　　JJF(晉)116-2025

　　I

　　目錄

　　引言...................................................................(Ⅱ)

　　1 范圍.................................................................(1)

　　2 引用文件............................................................ (1)

　　3 概述.................................................................(1)

　　4 計量特性.............................................................(1)

　　4.1 測量面的尺寸...................................................... (1)

　　4.2 測量面間的平行度............................................. .....(2)

　　4.3 測量面的表面粗糙度.................................................(2)

　　4.4 測量力.............................................................(2)

　　4.5 示值誤差...........................................................(2)

　　4.6 重復性.............................................................(3)

　　5 校準條件.............................................................(3)

　　5.1 環境條件...........................................................(3)

　　5.2 測量標準及其他設備.................................................(3)

　　6 校準項目和校準方法...................................................(3)

　　6.1 校準項目...........................................................(3)

　　6.2 校準方法...........................................................(4)

　　7 校準結果表達.........................................................(5)

　　8 復校時間間隔.........................................................(6)

　　附錄A 機械接觸式電子測厚儀校準記錄參考格式............................(7)

　　附錄B 校準證書內頁參考格式............................................(8)

　　附錄C 機械接觸式電子測厚儀示值誤差校準結果的不確定度評定示例..........(9)

　　JJF(晉)116-2025

　　II

　　引言

　　JJF 1071-2010 《國家計量校準規范編寫規則》、JJF 1001-2011 《通用計量術語及

　　定義》和JJF 1059.1-2012 《測量不確定度評定與表示》共同構成本規范制定工作的基

　　礎性系列技術規范。

　　本規范在制定中技術指標和校準方法主要參考并引用了國家標準GB/T 451.3-2002

　　《紙和紙板厚度的測定》和GB/T 6672-2001 《塑料薄膜和薄片厚度測定機械測量法》。

　　本規范為首次發布。

　　JJF(晉)116-2025

　　1

　　機械接觸式電子測厚儀校準規范

　　1 范圍

　　本規范適用于測量范圍(0～2)mm 的機械接觸式電子測厚儀的校準。

　　2 引用文件

　　本規范引用了下列文件：

　　GB/T 451.3-2002 紙和紙板厚度的測定

　　GB/T 6672-2001 塑料薄膜和薄片厚度測定機械測量法

　　凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規范;凡是不注日期的引用文件，

　　其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規范。

　　3 概述

　　機械接觸式電子測厚儀(以下簡稱測厚儀)采用機械接觸式測試原理，通過量具或

　　量儀的感受元件與被測表面直接接觸來獲得測量信息，通過顯示裝置將被測厚度顯示出

　　來。主要組成部分包括基座、光柵尺(或電感傳感器)、測桿、測頭、電機、顯示和控

　　制裝置等，其結構如圖1 所示。廣泛應用于薄膜、薄片、紙張、紙板等各種材料的厚

　　度測量。根據被測對象可分為塑料薄膜和薄片厚度測定的測厚儀、紙和紙板厚度測定的

　　測厚儀兩種。

　　1、基座;2、測桿;3、測頭;4、顯示和控制裝置。

　　圖1 測厚儀結構

　　4 計量特性

　　4.1 測量面的尺寸

　　4.1.1 塑料薄膜和薄片厚度測定的測厚儀

　　上下測量面為平面/平面時,上測量面直徑應在(2.5 ～10) mm 之間。

　　上下測量面為凸面/平面時,上測量面的曲率半徑應在(15 ～50) mm 之間，下測量

　　面的直徑應不小于5 mm 。

　　JJF(晉)116-2025

　　2

　　4.1.2 紙和紙板厚度測定的測厚儀

　　上測量面的直徑應為(16.0±0.5)mm，下測量面的直徑應不小于16.0 mm 。

　　4.2 測量面間的平行度

　　4.2.1 塑料薄膜和薄片厚度測定的測厚儀

　　不大于5μm。

　　4.2.2 紙和紙板厚度測定的測厚儀

　　不大于5μm或1%(兩者取最大值)。

　　4.3 測量面的表面粗糙度

　　測厚儀測量面的表面粗糙度應不超過0.2μm。

　　4.4 測量力

　　4.4.1 塑料薄膜和薄片厚度測定的測厚儀，測量力應不超過表1 的規定。

　　表1 塑料薄膜和薄片厚度測定的測厚儀的測量力

　　測頭形式測量力

　　平面/平面(0.5 ～1.0)N

　　凸面/平面(0.1 ～0.5)N

　　4.4.2 紙和紙板厚度測定的測厚儀

　　應不超過(20±2)N。

　　4.5 示值誤差

　　塑料薄膜和薄片厚度測定的測厚儀，示值誤差應不超過表2 的規定;紙和紙板厚

　　度測定的測厚儀，示值誤差應不超過表3 的規定。

　　表2 塑料薄膜和薄片厚度測定的測厚儀示值最大允許誤差

　　測量范圍示值最大允許誤差

　　H ≤100μm ±1μm

　　100μm

　　250μm

　　JJF(晉)116-2025

　　3

　　表3 紙和紙板厚度測定的測厚儀示值最大允許誤差

　　測量范圍示值最大允許誤差

　　H ≤ 500μm ±2.5μm

　　500μm

　　4.6 重復性

　　紙和紙板厚度測定的測厚儀測量重復性應不超過表4 的規定。

　　表4 紙和紙板厚度測定的測厚儀測量重復性

　　測量范圍測量重復性

　　H ≤ 500μm 2.5μm

　　500μm

　　注：以上指標要求不用于合格性判定，僅供參考。

　　5 校準條件

　　5.1 環境條件

　　環境溫度(20±5)℃，相對濕度不大于80%。

　　5.2 測量標準及其他設備

　　測量標準及其他設備見表5 ，也可以采用滿足測量不確定要求的其他測量標準及

　　設備。

　　表5 測量標準及其他設備

　　序號名稱計量指標用途

　　1 卡尺MPE：±0.03 mm 直徑

　　2 半徑樣板

　　(15～50)mm，

　　MPE：±0.035 mm～±0.2 mm

　　曲率半徑

　　3 量塊4等示值誤差、平行度

　　4 表面粗糙度比較樣塊MPE：+12%～-17% 表面粗糙度

　　5 測力儀分度值或分辨力:0.1N 測量力

　　6 標準厚度片不確定度： U

　　rel = 0.2%, k ? 2 示值誤差

　　6 校準項目和校準方法

　　首先檢查外觀，確定沒有影響校準計量特性的因素后進行校準。

　　6.1 校準項目

　　JJF(晉)116-2025

　　4

　　測量面的尺寸、測量面間的平行度、測量面的表面粗糙度、測量力、示值誤差、

　　測量重復性。

　　6.2 校準方法

　　6.2.1 測量面的尺寸

　　6.2.1.1 平面測量面的直徑

　　用卡尺直接測量測厚儀平面測量面直徑，測量時應在如圖2 所示的相互垂直的兩

　　個方向上進行，取兩個方向直徑測量結果的平均值作為該測量面的直徑。

　　圖2 測量面直徑測量位置示意圖

　　6.2.1.2 凸面測量面的曲率半徑

　　用半徑樣板以光隙法測量凸面測量面的曲率半徑。

　　6.2.2 測量面間的平行度(僅適用于測量面為平面的測厚儀)

　　選擇測厚儀測量范圍內任意尺寸的量塊，以其同一部位放入圖3 所示測量面間的

　　4 個位置上，啟動測厚儀進行測量，每次測量前均應對測厚儀置零。

　　D

　　4

　　1

　　圖3 測量面間的平行度測量位置示意圖

　　其測量面間的平行度按公式(1)計算：

　　2

　　2 4

　　2

　　1 3 A ? 0.5? (d ? d)? (d ? d ) (1)

　　式中：

　　A —— 測厚儀測量面間的平行度，μm;

　　d1、d2、d3、d4 —— 分別為量塊在圖3 所示1、2、3、4 位置處的厚度示值，μm。

　　3

　　4 2

　　1

　　JJF(晉)116-2025

　　5

　　6.2.3 測量面的表面粗糙度

　　用表面粗糙度比較樣塊比較測量。目力觀測被檢測量面的痕跡深度不應超過表面粗

　　糙度比較樣塊工作面痕跡的深度。

　　6.2.4 測量力

　　將測力儀的測量頭(或輔助附件)伸入測厚儀的上、下測量面間，啟動測厚儀，使

　　測厚儀測量面與測力儀測頭相接觸，讀取測力儀的示值，即為該測厚儀的測量力.

　　6.2.5 示值誤差

　　按使用說明書對測厚儀進行零點調整。在測厚儀的量程內大致均勻分布三到五個點

　　作為受檢點(含最接近量程上、下限的點)，在兩測量面間放入相應厚度的標準厚度片

　　或量塊，啟動測厚儀分別進行測量，每個受檢點連續測量5 次，取平均值作為測厚儀

　　在該點的示值。其示值誤差? 按公式(2)計算：

　　i si ? ? H ? H (2)

　　式中：

　　? —— 示值誤差，μm;

　　i H —— 該點示值平均值，μm;

　　si H —— 標準厚度片或量塊尺寸，μm。

　　6.2.6 測量重復性(僅適用于紙和紙板厚度測定的測厚儀)

　　按6.2.5校準方法在各點進行重復測量，與示值誤差校準同時進行。其測量重復性s

　　按公式(3)計算：

　　C

　　H H

　　s imax imin ?

　　? (3)

　　式中：

　　s —— 測量重復性，μm;

　　imax H —— 該點測量結果中最大值，μm;

　　imin H —— 該點測量結果中最小值，μm;

　　C —— 極差系數，取2.33。

　　7 校準結果表達

　　JJF(晉)116-2025

　　6

　　校準結果應在校準證書上反映。校準證書應至少包括以下信息：

　　a)標題：“校準證書”;

　　b)實驗室名稱和地址;

　　c)進行校準的地點(如果與實驗室的地址不同);

　　d)證書的唯一性標識(如編號)，每頁及總頁數的標識;

　　e)客戶的名稱和地址;

　　f)被校對象的描述和明確標識;

　　g)進行校準的日期，如果與校準結果的有效性和應用有關時，應說明被校對象的

　　接收日期;

　　h)如果與校準結果的有效性或應用有關時，應對被校樣品的抽樣程序進行說明;

　　i)校準所依據的技術規范的標識，包括名稱及代號;

　　j)本次校準所用測量標準的溯源性及有效性說明;

　　k)校準環境的描述;

　　1)校準結果及其測量不確定度的說明;

　　m)對校準規范的偏離的說明;

　　n)校準證書或校準報告簽發人的簽名、職務或等校標識;

　　o)校準結果僅對被校對象有效的聲明;

　　p)未經實驗室書面批準，不得部分復制證書的聲明。

　　8 復校時間間隔

　　由于復校時間間隔的長短是由儀器的使用情況、使用者、儀器本身質量等諸因素所

　　決定的，因此送校單位可根據實際使用情況自主決定，建議不超過1年。

　　JJF(晉)116-2025

　　7

　　附錄A

　　機械接觸式電子測厚儀校準記錄參考格式

　　校準員： 核驗員：

　　送檢單位

　　器具名稱規格型號

　　制造廠出廠編號

　　校準時間校準地點

　　環境條件溫度： ℃ 相對濕度： % 校準依據

　　不確定度/最大允許誤差/準確度等級證書編號

　　校準所使用的主要計量器具

　　名稱型號規格出廠編號

　　不確定度或準確度等

　　級或最大允許誤差

　　證書編號有效期至

　　校準結果

　　1 測量面的直徑: 上： mm， 下： mm 凸面測量面的曲率半徑： mm。

　　2 上、下測量面的平行度: 位置1 mm， 位置2： mm，

　　位置3 mm， 位置4： mm， 平行度： μm

　　3 測量面的粗糙度： 4 測量力： N

　　5 示值誤差和重復性：

　　校準點

　　測厚儀示值示值

　　誤差

　　擴展不

　　確定度

　　重復性

　　1 2 3 4 5 平均值

　　JJF(晉)116-2025

　　8

　　附錄B

　　校準證書內頁參考格式

　　校準結果

　　B.1 測量面的直徑：

　　B.2 上、下測量面的平行度：

　　B.3 測量面的粗糙度：

　　B.4 測量力：

　　B.5 示值誤差和重復性:

　　校準點示值誤差擴展不確定度重復性

　　JJF(晉)116-2025

　　9

　　附錄C

　　C.1 機械接觸式電子測厚儀示值誤差校準結果的不確定度評定示例

　　C.1.1 概述

　　C.1.1.1 測量依據

　　依據《機械接觸式電子測厚儀校準規范》。

　　C.1.1.2 環境條件

　　溫度(20±5)℃，相對濕度不大于80%。

　　C.1.1.3 測量標準

　　4等量塊直接測量。

　　C.1.1.4 被測對象

　　以分辨力0.1μm,(0～2)mm的測厚儀0.5 mm測量點為例，對其示值誤差進行測

　　量結果的不確定度評定。

　　C.1.1.5 測量方法

　　按使用說明對測厚儀進行零點調整。將量塊放入測厚儀下測頭上，啟動測厚儀對量

　　塊進行測量，以測厚儀示值與量塊長度之差為測厚儀示值誤差。

　　C.1.2 測量模型

　　測厚儀的示值誤差?

　　i si i i i si si si ? ? H ? H ? H ?? ? ?t ? H ?? ? ?t

　　_ _

　　式中：

　　? —— 示值誤差;

　　?

　　i H —— 該點示值平均值，μm;

　　si H —— 量塊長度，μm;

　　i ?

　　、si ? —— 分別為測厚儀和量塊線膨脹系數;

　　i ?t 、si ?t —— 分別為測厚儀和量塊溫度偏離20℃的數值。

　　C.1.3 不確定度傳播率

　　令si ? ? ? ? ? ? i ; t i si ? ? ?t ? ?t ; si

　　_

　　i H ? H ? H ; i si ? ?? ?? ; i si ?t ? ?t ? ?t

　　JJF(晉)116-2025

　　10

　　則公式可變換為：

　　i si t ? H H H t ? H ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

　　?

　　? ? ? ? ? ? u c u Hi c u Hsi c u ? c u ? t ?

　　2 2

　　4

　　2 2

　　3

　　2 2

　　2

　　2 2

　　1

　　2 ? ( ) ? ? ?

　　?

　　靈敏系數為： 1 1 _ ?

　　?

　　?

　　?

　　i H

　　c

　　?

　　;

　　1 2 ? ?

　　?

　　?

　　?

　　si H

　　c

　　?

　　;

　　? ? ? ? ? ℃? ?℃;

　　?

　　?

　　c ? H t 0.5mm 5 2.5mm 3

　　? ?

　　?

　　6 1 6 1

　　4 ? ? ? 0.5 ?11.5?10? ? ? 5.75?10? ? ?

　　?

　　?

　　c ? H mm ℃ mm ℃

　　t

　　?

　　?

　　?

　　;

　　C.1.4 標準不確定度的評定

　　C.1.4.1 輸入量的標準不確定度( )

　　_

　　i u H 評定

　　輸入量

　　_

　　i H 的不確定度來源于測量的重復性和儀器的分辨力引入的標準不確定度分

　　量。

　　1) 測量重復性引入的標準不確定度( )

　　_

　　1 i u H

　　測量點選在0.5mm處，用0.5mm量塊直接連續測量10次得到測量值。

　　測量數據見表C.1 。

　　表C.1 測量數據μm

　　測量次數1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

　　測量值502.3 502.3 501.0 502.4 500.8 502.4 501.3 501.1 501.1 502.7

　　—

　　i H = 501.74μm

　　由貝塞爾公式求單次測得值的實驗標準偏差：

　　1

　　( )

　　( )

　　10

　　1

　　2

　　?

　　?

　　?

　　??

　　?

　　n

　　H H

　　s H i

　　i i

　　i

　　—

　　= 0.735μm

　　實際測量5次，重復測量引入的標準不確定度：

　　JJF(晉)116-2025

　　11

　　0.329

　　5

　　( ) ( )

　　_

　　1 ? ?

　　?

　　i

　　i

　　u H s H μm

　　2) 測厚儀分辨力引入的標準不確定度2 u

　　按照測厚儀使用說明書可知：分辨力為0.1μm,所以，分辨力引入的不確定度：

　　2 u =0.29×0.1μm =0.029μm

　　比較測量重復性和測厚儀分辨力引入的標準不確定度分量，選取標準不確定度大的

　　分量作為輸入量

　　_

　　i H 的標準不確定度，忽略另一個分量，經比較重復性引入的分量大于

　　儀器分辨力引入的分量，因此取重復性引入的分量作為輸入量

　　_

　　i H 的標準不確定度：

　　( ) ( )

　　_

　　i 1 i u H ? u H

　　?

　　=0.329μm

　　C.1.4.2 測量用量塊的長度偏差引入的標準不確定度( ) si u H 的評定

　　根據JJG 146-2011《量塊》的規定，0.5mm，4等量塊的不確定度為U =0.20μm，

　　取k =2 ，則：

　　( ) si u H =0.20μm/2=0.10μm

　　C.1.4.3 測厚儀與量塊間線膨脹系數差引入的標準不確定度( ) ? u ? 的評定

　　測厚儀與量塊間線膨脹系數界限均為(11.5±1.0)×10-6 ℃-1，線膨脹系數差? ? 估

　　計為2×10-6 ℃-1，按三角分布，k ? 6，則：

　　( ) ? 2?10?6 ? u ? ℃-1/ 6 =0.816×10-6℃-1

　　C.1.4.4 測厚儀與量塊間溫度差引入的標準不確定度( ) t u ? 的評定

　　測厚儀與量塊間存在的溫度差以等概率落于±1℃區間內，按均勻分布，k ? 3，

　　則：

　　( ) t u ? =1℃/ 3 =0.577℃

　　C.1.5 標準不確定度匯總

　　標準不確定度匯總見表C.2 。

　　JJF(晉)116-2025

　　12

　　表C.2 標準不確定度匯總表

　　標準不確定度分量不確定度來源標準不確定度ci ( ) i i c u x

　　( )

　　_

　　i u H 測量重復性0.329μm 1 0.329μm

　　( ) si u H 量塊的長度偏差0.10μm -1 0.10μm

　　( ) ? u ? 測厚儀與量塊間線

　　膨脹系數差

　　0.816×10-6 ℃-1 2.5mm·℃ 0.00204μm

　　( ) t u ? 測厚儀與量塊間溫

　　度差

　　0.577℃ 5.75×10-6mm·℃-1 0.003318μm

　　C.1.6 合成標準不確定度

　　以上各項標準不確定度分量互不相關，相互獨立。合成標準不確定度：

　　( ) ( ) ( ) 2 2 ( ) 0.34

　　4

　　2 2

　　3

　　2 2

　　2

　　_

　　2 2

　　1 ? ? ? ? ? c i si t u c u H c u H c u ? c u ? ? μm

　　C.1.7 擴展不確定度

　　取k ? 2，則擴展不確定度為：

　　c U ? ku =2×0.34=0.68≈0.7μm

　　JJF(晉)116-2025

　　13

　　C.2 機械接觸式電子測厚儀示值誤差校準結果的不確定度評定示例

　　C.2.1 概述

　　C.2.1.1 測量依據

　　依據《機械接觸式電子測厚儀校準規范》。

　　C.2.1.2 環境條件

　　溫度(20±5)℃，相對濕度不大于80%。

　　C.2.1.3 測量標準

　　標準厚度片不確定度為? 0.2% rel U ，取k =2 。

　　C.2.1.4 被測對象

　　以分辨力0.1μm，(0～2)mm的測厚儀為例，對測厚儀示值誤差測量結果的不確定

　　度進行評定。

　　C.2.1.5 測量方法

　　按使用說明對測厚儀進行零點調整。將標準厚度片放入測厚儀下測頭上，啟動測厚

　　儀對標準厚度片進行測量，以測厚儀示值與標準厚度片實際值之差為測厚儀示值誤差。

　　C.2.2 測量模型

　　測厚儀的示值誤差?

　　i si ? H ? H

　　_

　　?

　　式中：

　　? —— 示值誤差;

　　?

　　i H —— 該點示值平均值，μm;

　　si H —— 標準厚度片實際值，μm。

　　C.2.3 不確定度傳播率

　　靈敏系數為： 1 1 _ ?

　　?

　　?

　　?

　　i H

　　c

　　?

　　; 1 2 ? ?

　　?

　　?

　　?

　　si H

　　c

　　?

　　C.2.4 標準不確定度的評定

　　C.2.4.1 輸入量的標準不確定度( )

　　_

　　i u H 評定

　　JJF(晉)116-2025

　　14

　　輸入量

　　_

　　i H 的不確定度來源于測量的重復性和儀器的分辨力引入的標準不確定度分

　　量。

　　1) 測量重復性引入的標準不確定度( )

　　_

　　1 i u H

　　測量點選在98μm、243μm、487μm處，用標準厚度片直接測量連續測量10次得到測

　　量值。具體測量數據列于表C.3 。

　　表C.3 各校準點測量數據μm

　　校準點1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 平均值

　　97.8 98.2 98.3 98.4 98.6 98.4 98.4 98.3 98.5 98.0 98.0 98.3

　　243.7 243.5 243.6 243.7 243.6 243.5 243.5 243.6 243.7 243.8 243.6 243.6

　　487.2 487.5 487.7 487.9 487.6 487.5 487.5 487.8 487.5 487.5 487.5 487.6

　　由貝塞爾公式求單次測得值的實驗標準偏差：

　　1

　　( )

　　10

　　1

　　2

　　?

　　?

　　?

　　??

　　?

　　n

　　H H

　　s i

　　i i

　　實際測量5次，重復測量引入的標準不確定度：

　　5

　　( )

　　( )

　　_

　　1

　　?

　　? i

　　i

　　s H

　　u H

　　各校準點的實際標準偏差與標準不確定度的計算結果見表C.4 。

　　表C.4 各校準點的實際標準偏差與標準不確定度的計算結果μm

　　校準點平均值實驗標準偏差s 標準不確定度( )

　　_

　　1 i u H 標準不確定度( )

　　_

　　i u H

　　97.8 98.3 0.197 0.0881 0.0881

　　243.7 243.6 0.1 0.0447 0.0447

　　487.2 487.6 0.149 0.0666 0.0666

　　2) 測厚儀分辨力引入的標準不確定度2 u

　　測厚儀分辨力引入的不確定度，按照測厚儀使用說明書可知：分辨力為0.1μm,所

　　以，分辨力引入的標準不確定度：

　　JJF(晉)116-2025

　　15

　　2 u =0.29×0.1μm=0.029μm

　　比較測量重復性和測厚儀分辨力引入的標準不確定度分量，選取標準不確定度大的

　　分量作為輸入量

　　_

　　Hi 的標準不確定度( )

　　_

　　i u H ，忽略另一個分量。見表C.4 。

　　C.2.3.2 測量用標準厚度片的長度偏差引入的標準不確定度( ) si u H 的評定

　　標準厚度片的不確定度為? 0.2% rel U ，取k =2，則：

　　i

　　rel

　　si H

　　k

　　U

　　u(H ) ? ?

　　校準點97.8μm: u(Hsi) = 0.0978 μm;

　　校準點243.7μm: u(Hsi) = 0.244 μm;

　　校準點487.2μm: u(Hsi) = 0.487 μm。

　　C.2.5 標準不確定度匯總

　　標準不確定度匯總見表C.5 。

　　表C.5 標準不確定度匯總表μm

　　標準不確定度分量不確定度來源標準不確定度i c ( ) i i c u x

　　( )

　　_

　　i u H 測量重復性

　　97.8 0.0881

　　1

　　0.0881

　　243.7 0.0447 0.0447

　　487.2 0.0666 0.0666

　　( ) si u H 測量用標準厚度片

　　的長度偏差

　　97.8 0.0978

　　-1

　　0.0978

　　243.7 0.244 0.244

　　487.2 0.487 0.487

　　C.2.6 合成標準不確定度

　　以上各項標準不確定度分量互不相關，相互獨立。合成標準不確定度為：

　　( ) 2 2 ( )

　　2

　　_

　　2 2

　　c 1 i si u ? c u H ? c u H

　　校準點97.8μm： uc = 0.132μm;

　　校準點243.7μm： uc = 0.248μm;

　　校準點487.2μm： uc = 0.492μm。

　　C.2.7 擴展不確定度

　　JJF(晉)116-2025

　　16

　　取k ? 2，則擴展不確定度為： c U ? ku

　　校準點97.8μm： U =0.27μm k =2;

　　校準點243.7μm： U =0.5μm k =2;

　　校準點487.2μm： U =1μm k =2。